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好性能SUNX晶圓定位傳感器，DPH-A27[產(chǎn)品打印頁(yè)面]

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產(chǎn)品名稱: 好性能SUNX晶圓定位傳感器，DPH-A27
產(chǎn)品型號(hào): DPH-A27
產(chǎn)品展商: SUNX
簡(jiǎn)單介紹
好性能SUNX晶圓定位傳感器，DPH-A27 好性能SUNX晶圓定位傳感器，DPH-A27

好性能SUNX晶圓定位傳感器，DPH-A27的詳細(xì)介紹

好性能SUNX晶圓定位傳感器，DPH-A27
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安全性**的LED式
以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會(huì)從加載口內(nèi)側(cè)穿過(guò)FOUP直射操作人員，十分危險(xiǎn)。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。
因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
基于2段受光元件的高精度位置檢測(cè)
可從四個(gè)方向引出電纜　　穩(wěn)定指示燈 綠色LED（穩(wěn)定入光時(shí)、穩(wěn)定非入光時(shí)亮起點(diǎn)燈）
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過(guò)反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測(cè)。
實(shí)現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度。
氮化膜具有可吸收特定波長(zhǎng)光的性質(zhì)，吸收的波長(zhǎng)因氮化膜的厚度而不同。
NPN開(kāi)路集電極晶體管
定時(shí)器功能 裝備約2ms固定斷開(kāi)延遲定時(shí)器　有效/無(wú)效切換式
投光停止輸入 信號(hào)條件　　PNP開(kāi)路集電極晶體管
M-DW1以反射光的位置來(lái)檢測(cè)，不管反射光量的多少都能檢測(cè)出玻璃晶圓。
亦可檢測(cè)玻璃晶圓　　可檢測(cè)涂氮晶圓　　工作狀態(tài)指示燈 橙色LED（輸出ON時(shí)亮起）
0.4V以下（流入電流為16mA時(shí)）　　 源電流：100mA　　 投光停止：斷開(kāi)或4 8V
投光：0 3V或9V +V（26.4V MAX.）
靈敏度切換輸入 信號(hào)條件
亦可檢測(cè)玻璃晶圓
短路保護(hù) 裝備（自動(dòng)復(fù)位）　　 外加電壓：30V DC以下（輸出和+V之間）
因此，對(duì)于使用單波長(zhǎng)激光的傳感器，可能會(huì)因光全被吸收而無(wú)法檢測(cè)。
可從四個(gè)方向引出電纜
消耗電流 65mA以下　　輸出 NPN輸出／PNP輸出　可由切換開(kāi)關(guān)選擇

利用反射光量檢測(cè)時(shí)，反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。
輸出動(dòng)作 可用切換開(kāi)關(guān)選擇入光時(shí)ON/非入光時(shí)ON
而LED光源的光具有一定波長(zhǎng)段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測(cè)。
0.5ms的高速反應(yīng)　　<NPN輸出>
剩余電壓：1V以下（源電流為100mA時(shí)）
0.4V以下（源電流為16mA時(shí)）　　內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm，質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型。
好性能SUNX晶圓定位傳感器，DPH-A27
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